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出口型小型真空感應定向凝固爐

簡要描述:出口型小型真空感應定向凝固爐采用步進伺服電機+精密線性模組方式,電機升降系統密封均采用焊接波紋管密封,安裝方便可靠。升降桿采用空心水冷結構,上面有一坩堝托盤,用來放置熔煉坩堝及保溫裝置。電機控制采用PLC+觸摸屏方式,速度位移按照工藝要求任意設定,保證其行走速度的穩定性和位置的準確性。用于定向凝固做晶體生長使用

  • 產品型號:KQZ-15-16
  • 廠商性質:生產廠家
  • 更新時間:2020-03-26
  • 訪  問  量:285
品牌其他品牌產地類別國產
應用領域能源,電子,冶金,航天,綜合

一·出口型小型真空感應定向凝固爐設備用途:

出口型小型真空感應定向凝固爐主要包括兩種功能,即可用于材料的熔化提純,也可用于材料的定向凝固。

二·出口型小型真空感應定向凝固爐設備特點:

    本設備采用立式底部升降結構,一體化設計,結構緊湊,裝卸料方便,真空爐體采用石英管

三·小型真空感應定向凝固爐主要技術參數

1.加熱溫度:     1600℃

2.常用溫度:  1400℃

3.功率:             15Kw±10%
3.冷態極限真空度:   ≤5Pa

4.坩堝尺寸:       Ф30×200mm(直徑×高 )

5.測溫系統:         紅外儀控溫測溫

6.加熱方式:        高頻感應加熱

7.坩堝材質:石英坩堝

8.坩堝護套:氮化硼+石英陶瓷保溫套

9.坩堝升降速度:位移行程 250mm(步進電機控制)

10·爐內充氣壓力:             ≤0.03MPa

11·充氣系統:                自動充放氣

四、結構組成及說明

1、石英真空腔室                   

2、爐底及升降裝料機構           

3、感應加熱系統及    

4、真空系統                    

5、控制系統        

6、冷卻水分配系統             

三、小型真空感應定向凝固爐結構說明

1、石英真空腔室:真空密封腔室,采用石英管上下配水冷密封法蘭的方式,采用徑向密封的方式,上下法蘭采用水冷密封法蘭,保證密封性,同時也保證密封圈的受熱溫度在常溫。爐蓋水冷法蘭配有真空壓力表,真空抽氣接口,觀察窗,熱偶測溫裝置以及放氣閥、安全閥等裝置。一體化設計,外形整潔美觀。

2、爐底及坩堝升降機構:爐底水冷法蘭與石英管腔室采用“O”圈真空密封, 

坩堝升降機構:采用步進伺服電機+精密線性模組方式,電機升降系統密封均采用焊接波紋管密封,安裝方便可靠。升降桿采用空心水冷結構,上面有一坩堝托盤,用來放置熔煉坩堝及保溫裝置。電機控制采用PLC+觸摸屏方式,速度位移按照工藝要求任意設定,保證其行走速度的穩定性和位置的準確性。用于定向凝固做晶體生長使用。

4、感應加熱系統:設備加熱采用感應加熱的方式,有一高頻感應電源配合感應線圈及線圈升降裝置、坩堝及保溫套組成加熱系統。采用感應線圈不動,內部坩堝升降移動的方式,來實現材料晶體的熔融及定向凝固??梢杂脕碜鲂×坎牧暇w的生長制備實驗。測溫采用紅外實時測溫,坩堝底部可預留熱偶測溫裝置,實時顯示坩堝溫度。

5、真空系統:由一臺機械泵配真空閥門、充氣閥、放氣閥組成真空系統。真空管道與泵聯接采用快速接頭聯接(減緩震動),真空測量選用具有數字顯示功能的真空計執行。

6、控制系統:采用PLC+觸摸屏的方式 ,所有的動作都有PLC來完成,安全可靠。功能強大,操作方便,具有超溫,上線限控制聲光報警功能??刂乒衩姘迳显O有液晶觸模屏,可設定長晶速度、位移等,界面清晰直觀,數據可記錄,查詢,導出,曲線數據,歷史數據可實時顯示,可實時觀測直觀各部件的工作狀態,實時記錄工況。

7、水冷分配系統:由循環水機及主管道、分管路、水閥、壓力報警等相關裝置組成,具有斷水聲光報警及自動切斷電源等功能。

五、成套供應范圍

1.  高真空腔室                                      1套

2.  伺服升降裝置                                    1套

3.  BN坩堝(護套)                                    1套

4.  熱電偶                                           1支

5.  控制系統(plc+觸摸屏系統)                       1套

6.產品說明書,合格證                                1份

7.循環冷水機:1P                                  1臺

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